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半导体工厂气体检测仪 PS-6AH

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日本新宇宙半导体工厂气体检测仪 PS-6AH详细介绍
半导体工厂气体检测仪 PS-6AH性能特点

半导体工厂气体检测仪 PS－6AH简介

由于是4－20mA的标准输出，因此可接入各种测量装置和系统。由于有现场浓度显示功能，因此可在设置现场确认浓度。可以设定报警水平，故障报警，零抑制或线性表格等。检测部有各种接点输出信号。
功能描述
检测原理： 定电位电解式，热线型半导体式，隔膜Galvanic电池式
检测气体： SiH4,PH3,B2H6等
采样方式： 泵吸引式
采样管道： 特富龙外径6/内径4mm配管距离20m以内，但吸着性强的气体最大配管距离为5m
气体浓度显示： 0～9999LED显示
输出信号： 4～20mA(与电源的负端共用）
报警输出： 第1段第2段都是开路集电极OFF
适合电缆: KW～P3芯或4芯
适用温度： 0～40℃
电源: DC24V±10%
消耗电力： 约10W
物理特性
长度 198mm
宽度 145mm
高度 37mm
重量 约2.7kg
持有证书
CE
其它
检测气体：SiH4,PH3,B2H6,AsH3,H2Se,Si2H6,SiH2Cl2,GeH4,(CH3)3CAsH2,(CH3)3CPH2,NH3,HF,PF3,HCl,HBr,F2,Cl2,O3,CO,H2S,SO2,NO2,H2,O2.

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